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    原子層沉積系統(tǒng)臭氧發(fā)生器要求

    來源:www.lfcwgs.com 作者:同林臭氧 時(shí)間:2025-01-07 17:11

    原子層沉積系統(tǒng)臭氧發(fā)生器要求

    原子層沉積系統(tǒng)用臭氧發(fā)生器要求如下:

    20250107-171059.jpg

    臭氧發(fā)生器產(chǎn)量10 g/h,濃度不低于80 g/m,臭氧流量可控(0~200 sccm)

    以下臭氧發(fā)生器可滿足要求:

    1、3S-T10  ,臭氧產(chǎn)量10g/h,臭氧濃度120mg/L,氧氣進(jìn)氣范圍0.05-4L/min

    2、NANO15,臭氧產(chǎn)量15g/h,臭氧濃度150mg/L,氧氣進(jìn)氣范圍0.05-2L/min

    3、3S-M5,臭氧產(chǎn)量10g/h,臭氧濃度110mg/L,氧氣進(jìn)氣范圍0.05-2L/min

    4、EXT-M10,臭氧產(chǎn)量5-10g/h,臭氧濃度120mg/L,氧氣進(jìn)氣范圍0.05-2L/min

    5、Atlas H30  ,臭氧產(chǎn)量3g/h,臭氧濃度200mg/L,氧氣進(jìn)氣范圍0.05-2L/min

    可根據(jù)臭氧濃度需求,體積大小,價(jià)位來選擇合適的臭氧發(fā)生器。


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